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显影机装备/Developer

显影机装备/Developer

尊龙凯时人生就是博装备先后完成了从G2.5到G8.6及以上尺寸CF、Array、TP等工艺湿制程显影机装备的自主研发

适用工艺:ITO刻蚀、IGZO刻蚀、Ag刻蚀、Mo刻蚀、Al刻蚀、Cu刻蚀、Rework等

适用基板尺寸:All Size
适用基板厚度:≥0.3mm
刻蚀类型:Multi-angle Oscilation Type Shower / Dip
装备类型:I Type ,U Type ,Line Type ,Custom Made

工艺能力:

1.High Uniformity Ultra-low Pressure Spray;

2.Excellent Process Reliability ,High CD Uniformity; 

3.Defoaming Management; 

4.No Mist, No Roller Mark, No Contamination And No Scratch; 

5.Low Running Cost。

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G8.5 显影机装备/Developer
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