尊龙凯时人生就是博

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湿法刻蚀机装备/Wet Etcher

湿法刻蚀机装备/Wet Etcher

尊龙凯时人生就是博装备先后完成了从G2.5到G8.6及以上尺寸ITO、IGZO、Ag、Mo、Al、Cu、Rework等各工艺类型湿制程刻蚀机装备的自主研发,AMOLED湿法刻蚀机荣获江苏省首台(套)重大装备认证,突破了外洋企业的垄断,稳固了平板显示装备供应链。

适用工艺:ITO刻蚀、IGZO刻蚀、Ag刻蚀、Mo刻蚀、Al刻蚀、Cu刻蚀、Rework等

适用基板尺寸:All Size
适用基板厚度:≥0.3mm
刻蚀类型:Multi-angle Oscilation Type Shower / Dip
装备类型:I Type,U Type,Line Type,Custom Made

工艺能力:1.Within Glass、Glass To Glass、Lot To Lot;

                 2.No Mura, No Roller Mark, No Contamination and No Scratch; 

                 3.CD Uniformity;

                 4.CD Loss; 

                 5.Low Running Cost。

刻蚀效果:

“尊龙凯时人生就是博装备湿法刻蚀机装备刻蚀效果”

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