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链式去BSG洗濯机

链式去BSG洗濯机

5.0m/min高带速大产能链式单面去BSG洗濯机装备

1、适用工艺:TOPCon

2、HF槽有用长度:4.6米

3、轨道数:12道182;10道210

4、额定带速:4.5~5.0m/min

5、装备产能:182:16000/小时;210:12500/小时

6、装备特点:

1)高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮,有用阻止翻液及过刻;

2细腻化智能化动力水膜控制,无极控速控流,细密控制水膜量;

3多匀流+多流道准确流体流场设计,液面更稳固;

4多区流体液面控制,准确控制刻蚀阶段液面高度;

5超等风刀,高带速吹干效果稳固

6...


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